表面粗糙度測量儀的組成部分分為兩部分：軟件處理部分和硬件部分。

軟件處理部分主要有兩個模塊，分別是數據處理模塊和文件處理模塊。在數據處理模塊中主要論述了表面粗糙度的參數和圖形、輪廓評定基準線和數字濾波器設計的算法，最后利用定標算法、誤差分析，對表面粗糙度測量系統做出綜合評價。在文件處理模塊中主要介紹了對數據文件的打開、保存、打印以及圖形的處理。

硬件部分則由傳感器、驅動器、指零表、記錄器和工作臺等主要部件組成。

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