超精密加工目前尚沒有統一的定義，在不同的歷史時期，不同的科學技術發展水平情況下，有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達到零點幾微米，表面粗糙度優于百分之幾微米的加工技術稱為超精密加工技術。