超精密加工技術是以高精度為目標的技術，它必須綜合應用各種新技術，在各個方面精益求精的條件下，才有可能突破常規(guī)技術達不到的精度界限，達到新的高精度指標。近20年來超精密加工技術在以下幾個方面有很大的進展：①超精密加工機床技術；②超精密加工刀具及加工工藝技術；③超精密加工的測量與控制技術；④超精密加工環(huán)境控制(包括恒溫、隔熱、潔凈控制等)。